Новый импульс для литографии: ускорение вычислений и искусственный интеллект
В статье рассматривается, как сочетание передовых вычислительных технологий и искусственного интеллекта открывает новые возможности для повышения скорости, точности и энергоэффективности в процессе производства полупроводников.



![Архитектура EAA обеспечивает динамическое управление взаимодействием между пользователем и агентом посредством централизованного менеджера задач, который поддерживает контекст диалога, обрабатывает сообщения, инициирует вызовы инструментов, а также использует векторное хранилище для долгосрочной памяти, позволяя агенту адаптироваться к текущей задаче и обеспечивать последовательное взаимодействие, основанное на [latex]LLM[/latex] и [latex]VLM[/latex].](https://arxiv.org/html/2602.15294v1/x1.png)

![Исследование, основанное на платформе ResearchGym, демонстрирует, что агент [latex]rg-agent[/latex] с использованием модели GPT-5 достигает наилучших результатов по совокупности основных подзадач, что подтверждается нормализованной производительностью, усредненной по всем подзадачам и представленной с 95% доверительным интервалом, а также количеством успешно выполненных подзадач и средними значениями нормализованной производительности, где разброс значений отражает минимальный и максимальный результат из трех повторных запусков, при этом метрики подробно описаны в разделе 2.4.](https://arxiv.org/html/2602.15112v1/x1.png)

